Infrasarkanā mikroskopa pielietojums mikroierīcēs elektronikas rūpniecībā
1. Pielietojuma virziens: infrasarkanā mikroskopa loma sīku pusvadītāju ierīču temperatūras pārbaudē
2. Fona ievads:
Attīstoties nanotehnoloģijai, tās lejupejošās miniaturizācijas metode arvien vairāk tiek izmantota pusvadītāju tehnoloģiju jomā. Mēs mēdzām saukt IC tehnoloģiju par "mikroelektronikas" tehnoloģiju, jo tranzistoru izmēri ir mikronu (10-6 metra) līmenī. Tomēr pusvadītāju tehnoloģija attīstās ļoti strauji. Reizi divos gados tiks uzlabota paaudze, un izmērs tiks samazināts uz pusi no sākotnējā izmēra. Šis ir slavenais Mūra likums. Apmēram pirms 15 gadiem pusvadītāji sāka ienākt submikronu laikmetā, kas ir mazāks par mikronu ēru, un pēc tam iegāja dziļāk submikronu laikmetā, kas bija daudz mazāks par mikronu ēru. 2001. gadā tranzistori bija pat mazāki par 0,1 mikronu jeb 100 nanometriem. Tāpēc šis ir nanoelektronikas laikmets, un lielākā daļa nākotnes IC tiks izgatavotas no nanotehnoloģijas.
3. Tehniskās prasības:
Pašlaik galvenais elektronisko ierīču atteices veids ir termiskā kļūme. Saskaņā ar statistiku, 55 procentus elektronisko ierīču atteices izraisa temperatūra, kas pārsniedz noteikto vērtību. Paaugstinoties temperatūrai, elektronisko ierīču atteices līmenis pieaug eksponenciāli. Vispārīgi runājot, elektronisko komponentu darba uzticamība ir ārkārtīgi jutīga pret temperatūru, un uzticamība samazināsies par 5 procentiem katru reizi, kad ierīces temperatūra paaugstināsies par 1 grādu 70-80 grādu līmenī. Tāpēc ir nepieciešams ātri un droši noteikt ierīces temperatūru. Pusvadītāju ierīču izmēriem kļūstot arvien mazākiem, augstākas prasības tiek izvirzītas detektoru temperatūras izšķirtspējai un telpiskajai izšķirtspējai.
4. Uz vietas šaušanas siltuma karte
