Konfokālo mikroskopu pielietojumi pusvadītāju rūpniecībā
Liela mēroga-pusvadītāju ražošanas procesā uz plāksnītes ir jānovieto integrālās shēmas mikroshēmas, pēc tam tās jāsadala dažādās vienībās un visbeidzot jāiepako un jāpielodē. Tāpēc precīza vafeļu griešanas rievas izmēra kontrole un mērīšana ir izšķiroša saikne ražošanas procesā.
Konfokālais mikroskops ir mikroskopiska noteikšanas ierīce, ko izlaida Zhongtu Instrument un ko plaši izmanto pusvadītāju ražošanas un iepakošanas procesos. Tas var veikt bezkontakta skenēšanu un rekonstruēt trīs-dimensiju virsmu morfoloģiju ar sarežģītām formām un stāvām lāzera griešanas rievām.
Konfokālajam mikroskopam ir lieliska optiskā izšķirtspēja, un, izmantojot skaidru attēlveidošanas sistēmu, tas var detalizēti novērot vafeļu virsmas īpašības, piemēram, vai nav defektu, piemēram, malas lūzumu un skrāpējumu uz vafeles virsmas. Elektriskais tornis var automātiski pārslēgties starp dažādiem objektīva palielinājumiem, un programmatūra automātiski uztver elementu malas, lai ātri izmērītu divu{1}}dimensiju izmēru, tādējādi efektīvāk nosakot un kontrolējot vafeļu virsmu.
Plākšņu lāzergriešanas procesā ir nepieciešama precīza pozicionēšana, lai nodrošinātu, ka rievas var izgriezt pa pareizo kontūru uz vafeles. Vafeļu segmentācijas kvalitāti parasti mēra pēc griešanas rievu dziļuma un platuma. VT6000 sērijas konfokālajam mikroskopam, kas balstīts uz konfokālo tehnoloģiju un aprīkots ar ātrdarbīgiem-skenēšanas moduļiem, ir profesionāla analīzes programmatūra ar vairāku apgabalu un automātiskām mērījumu funkcijām. Tas var ātri rekonstruēt pārbaudītās vafeles lāzera rievas trīsdimensiju kontūru un veikt vairāku profilu analīzi, lai iegūtu informāciju par kanāla dziļumu un šķērsgriezuma platumu.
