Pārklājuma biezuma mērītāja temperatūras kompensācijas mērīšanas metode
Pārklājuma biezuma mērītāja temperatūras kompensācijas mērīšanas metode ietver temperatūras koeficienta kalibrēšanas, ieslēgšanas nulles kalibrēšanas un biezuma mērīšanas posmus, un visbeidzot aprēķina faktiskā pārklājuma biezuma vērtību dx; izmantojot korelāciju starp induktivitātes spoles elektromagnētiskā lauka maiņu un temperatūru, tas ir, mērīšanas procesā bezgalības galā mēra vienu reizi, un temperatūras maiņas koeficients bezgalības galā ir proporcionāls temperatūras maiņas koeficientam. kad mērīšanas zonde mērīšanai atrodas tuvu mērītā objekta substrātam. Izmantojot šo raksturlielumu, lai realizētu temperatūras kompensāciju, var pēc iespējas samazināt temperatūras mērījumu kļūdu. Šīs metodes mērījumu kļūdu pamatā var kontrolēt 1 procenta robežās, savukārt mūsu pašreizējais valsts standarts pieprasa 3 procentu robežās. Salīdzinājumam, šīs metodes mērījumu kļūdu var kontrolēt 1 procenta robežās. Mērījumu precizitāte ir sasniegusi starptautisku zīmolu iekārtu mērījumu precizitāti, un tā joprojām ir ļoti augsta Ķīnā.
