Salīdzinot ar tradicionālajiem optiskajiem mikroskopiem un elektronu mikroskopiem, kādi faktori ierobežo atomu spēka mikroskopu izšķirtspēju?
Tradicionālo optisko mikroskopu izšķirtspēja ir ierobežota ar gaismas difrakcijas robežu, un tā minimālais izšķiršanas attālums ir puse no gaismas viļņa garuma. Elektronu mikroskopa izšķiršanas jaudu ierobežo arī difrakcijas robeža, un tā minimālā izšķirtspēja ir puse no elektronu de Broglie viļņa garuma, tāpēc elektronu mikroskops var sasniegt lielāku izšķirtspēju nekā tradicionālais optiskais mikroskops.
Atomu spēka mikroskopa izšķirtspēja galvenokārt ir atkarīga no: zondes gala izmēra; mikrokonsoles elastības koeficients, jo mazāks elastības koeficients, jo jutīgāks ir atomspēka mikroskops; konsoles garuma attiecība pret lāzera gaismas garumu; detektora PSD jutība pret vietas pozīciju. Attēlam ar noteiktu izšķirtspēju, jo mazāks ir skenēšanas diapazons, jo smalkāka ir iegūta virsmas topogrāfija.
