Iepazīstinām ar automatizētu atomu spēku mikroskopu, kā nekad agrāk
Automātiskā atomu spēka mikroskopa sistēma NX-3DM, ko izlaidusi Park Systems, ir īpaši izstrādāta pārkares kontūrai, augstas izšķirtspējas sānu sienu attēlveidošanai un kritiskā leņķa mērīšanai. Izmantojot unikālo XY ass un Z ass neatkarīgo skenēšanas sistēmu un noliecamo Z ass skeneri, NX-3DM veiksmīgi pārvar problēmas, ko rada parastās un izpletušās galviņas, veicot precīzu sānu sienu analīzi. True Non-Contact™ režīmā NX-3DM nodrošina nesagraujošu mīksto fotorezistu mērījumu ar augstu malu attiecību.
bezprecedenta precizitāte
Pusvadītājiem kļūstot mazākiem, projektiem tagad jābūt nanomērogā, taču tradicionālie mērīšanas rīki nevar nodrošināt nanomēroga projektēšanai un ražošanai nepieciešamo precizitāti. Saskaroties ar šo nozares mērīšanas izaicinājumu, Park AFM ir panācis daudzus tehnoloģiskus sasniegumus, piemēram, šķērsrunu novēršanu, kas var nodrošināt artefaktu nesagraujošu attēlu veidošanu; jaunais 3D AFM padara iespējamu augstas izšķirtspējas sānu sienu un apakšējo elementu attēlveidošanu.
bezprecedenta caurlaidspēja
Zemās caurlaidspējas ierobežojuma dēļ nanomēroga dizainu nevar izmantot ražošanas kvalitātes kontrolē, taču atomspēka mikroskopija to padara iespējamu. Ar Park Systems izdoto augstas caurlaidības risinājumu atomu spēka mikroskopija ir nonākusi arī automatizētās tiešsaistes ražošanas jomā. Tas ietver novatorisku magnētiskās zondes nomaiņas funkciju ar 99 procentu panākumu līmeni, kas ir augstāks nekā parastajai vakuuma tehnoloģijai. Turklāt procesa un caurlaidspējas optimizācijai ir nepieciešama aktīva klientu sadarbība, lai nodrošinātu pilnīgus neapstrādātus datus.
Bezprecedenta izmaksu efektivitāte
Nanomēroga mērījumu precizitāte un liela caurlaidspēja ir jāapvieno ar rentabliem risinājumiem, lai mērogotu no pētniecības līdz reālai ražošanas lietojumprogrammai. Saskaroties ar šo izmaksu izaicinājumu, Park Systems ir ieviesis rūpnieciska līmeņa atomu spēka mikroskopa risinājumu, lai automatizētos mērījumus padarītu ātrākus un efektīvākus, kā arī padarītu zondes izturīgākas! Mēs esam atteikušies no lēnā un dārgā skenējošā elektronu mikroskopa un pārgājuši uz efektīvu, automatizētu un pieejamu 3D atomu spēka mikroskopu, lai vēl vairāk samazinātu tiešsaistes rūpnieciskās ražošanas mērījumu izmaksas. Mūsdienās ražotājiem ir nepieciešama 3D informācija, lai raksturotu tranšeju profilus un sānu sienu variācijas, lai precīzi noteiktu jauno dizainu defektus. Modulārā AFM platforma nodrošina ātru aparatūras un programmatūras nomaiņu, padarot jauninājumus rentablākus un nepārtraukti optimizējot sarežģītus un prasīgus ražošanas kvalitātes kontroles mērījumus. Turklāt mūsu AFM zondes kalpo vismaz 2 reizes ilgāk, tādējādi vēl vairāk samazinot īpašuma izmaksas. Tradicionālie AFM izmanto piesitienu skenēšanu, kas padara galu vairāk pakļautu nodilumam, taču mūsu True Non-Contact™ režīms var efektīvi aizsargāt uzgali un pagarināt tā kalpošanas laiku.
