Skenējošo elektronu mikroskopu veidi un pazīmes
Ir dažādi skenējošo elektronu mikroskopu veidi, un dažāda veida skenējošiem elektronu mikroskopiem ir veiktspējas atšķirības. Saskaņā ar elektronu pistoles veidu to var iedalīt trīs veidos: lauka emisijas elektronu pistolē, volframa stiepļu pistolē un lantāna heksaborīdā. Starp tiem lauka emisijas skenēšanas elektronu mikroskopiju var iedalīt aukstā lauka emisijas skenēšanas elektronu mikroskopijā un karstā lauka emisijas skenēšanas elektronu mikroskopijā, pamatojoties uz gaismas avota veiktspēju. Aukstā lauka emisijas skenējošai elektronu mikroskopijai ir nepieciešami augsti vakuuma apstākļi, nestabila staru strāvas strāva, īss emitētāja kalpošanas laiks un nepieciešama regulāra adatas gala tīrīšana, kas ir ierobežota ar viena attēla novērošanu un kurai ir ierobežots pielietojuma diapazons; Termiskā lauka emisijas skenējošajam elektronu mikroskopam ir ne tikai ilgs nepārtraukts darba laiks, bet arī to var apvienot ar dažādiem piederumiem, lai panāktu visaptverošu analīzi. Ģeoloģijas jomā mums ne tikai jāievēro provizoriskā paraugu morfoloģija, bet arī jāanalizē citas paraugu īpašības kombinācijā ar analizatoriem, tāpēc siltuma lauka emisijas skenēšanas elektronu mikroskopijas pielietošana ir plašāka.
Lai arī skenējošā elektronu mikroskopija ir jaunpienācējs mikroskopa saimē, tās attīstības ātrums ir ļoti ātrs, pateicoties daudzajām priekšrocībām.
Instrumentam ir augsta izšķirtspēja, un tas var novērot sīkāku informāciju par aptuveni 6 nm uz parauga virsmas caur sekundāro elektronu attēlveidošanu. Izmantojot Lab6 elektronu pistoli, to var vēl vairāk uzlabot līdz 3 nm.
Instrumentam ir plašs palielinājumu izmaiņu diapazons, un to var nepārtraukti pielāgot. Tāpēc pēc vajadzības novērošanai var izvēlēties dažāda lieluma skata laukus, un ar lielu palielinājumu var iegūt arī skaidrus attēlus ar augstu spilgtumu, kurus ir grūti sasniegt ar vispārēju transmisijas elektronu mikroskopiju.
Parauga lauka un skata lauka dziļums ir liels, un attēls ir bagāts ar trīsdimensiju izpratni. Tas var tieši novērot raupjas virsmas ar lielām viļņiem un nevienmērīgiem metāla lūzuma attēliem paraugā, dodot cilvēkiem sajūtu, ka viņi atrodas mikroskopiskajā pasaulē.
4 paraugu sagatavošana ir vienkārša. Kamēr bloku vai pulvera paraugus nedaudz apstrādā vai nav apstrādāti, tos var tieši novērot ar skenējošu elektronu mikroskopu, kas ir tuvāk vielas dabiskajam stāvoklim.
5. Attēla kvalitāti var efektīvi kontrolēt un uzlabot, izmantojot elektroniskas metodes, piemēram, automātisku spilgtuma un kontrasta uzturēšanu, parauga slīpuma leņķa korekciju, attēla pagriešanu vai attēla kontrasta pielaides uzlabošanu caur Y modulāciju, kā arī mērenu spilgtumu un tumsu dažādās attēla daļās. Izmantojot divkāršu palielinājuma ierīci vai attēlu atlasītāju, fluorescējošā ekrānā vienlaicīgi var novērot attēlus ar atšķirīgu palielinājumu.
6 var veikt visaptverošu analīzi. Uzstādiet viļņa garuma izkliedējošu rentgenstaru spektrometru (WDX) vai enerģijas izkliedējošu rentgena spektrometru (EDX), lai tas darbotos kā elektronu zonde un noteiktu atstarotos elektronus, rentgena starus, katodoluminiscenci, pārraidītus elektronus, auger elektronus utt., Ko izstaro paraugs. Paplašinot skenējošās elektronu mikroskopijas pielietojumu dažādās mikroskopiskās un mikroaplikuma analīzes metodēs, ir parādīta skenējošās elektronu mikroskopijas daudzfunkcionalitāte. Turklāt, novērojot morfoloģijas attēlu, ir iespējams arī analizēt atlasītos parauga mikro zonas; Uzstādot pusvadītāju parauga turētāja stiprinājumu, PN krustojumus un mikro defektus tranzistoros vai integrētās shēmās var tieši novērot caur elektromotora spēka attēla pastiprinātāju. Sakarā ar elektroniskā datora automātiskās un pusautomātiskās vadības ieviešanu daudzām skenējošām elektronu mikroskopa elektronu zondes, kvantitatīvās analīzes ātrums ir ievērojami uzlabots.
