Elektronu mikroskopam ir vairākas daļas
Elektronu mikroskops sastāv no trim daļām: objektīva cilindra, vakuuma ierīces un barošanas skapja.
1. Lēcas cilindrā galvenokārt ietilpst elektronu avoti, elektronu lēcas, paraugu turētāji, dienasgaismas ekrāni un detektori. Šīs sastāvdaļas parasti tiek saliktas cilindrā no augšas uz leju.
Elektronu lēca tiek izmantota elektronu fokusēšanai, un tā ir vissvarīgākā sastāvdaļa elektronu mikroskopa stobrā. Parasti tiek izmantotas magnētiskās lēcas, un dažreiz tiek izmantotas arī elektrostatiskās lēcas.
2. Vakuuma ierīci izmanto, lai nodrošinātu vakuuma stāvokli mikroskopā, lai elektroni netiktu absorbēti vai novirzīti tā ceļā. Tas sastāv no mehāniskā vakuumsūkņa, difūzijas sūkņa un vakuuma vārsta, un tas ir savienots ar objektīva cilindru caur izplūdes cauruli.
3. Strāvas skapis sastāv no augstsprieguma ģeneratora, ierosmes strāvas stabilizatora un dažādiem regulēšanas vadības blokiem.
