Pārklājuma biezuma mērīšanas temperatūras kompensācijas mērīšanas metode
Pārklājuma biezuma mērītāja temperatūras kompensācijas mērīšanas metode ietver temperatūras koeficienta kalibrēšanas soli, palaišanas nulles kalibrēšanas soli un biezuma mērīšanas darba posmu, un visbeidzot aprēķina faktiskā pārklājuma biezuma dx vērtību; izmantojot korelāciju starp induktora spoles elektromagnētiskā lauka maiņu un temperatūru, tas ir, mērīšanas procesā vienreiz mēra vērtību bezgalības galā, un temperatūras maiņas koeficients bezgalības galā ir proporcionāls temperatūras maiņas koeficientam. kad mērīšanas zonde mērīšanai atrodas tuvu mērītā objekta substrātam. Izmantojot šo funkciju, lai realizētu temperatūras kompensāciju, var pēc iespējas samazināt temperatūras mērījumu kļūdu. Šīs metodes mērījumu kļūdu pamatā var kontrolēt 1 procenta robežās, savukārt mūsu pašreizējais valsts standarts pieprasa 3 procentu robežās. Salīdzinājumam, šīs metodes mērījumu kļūdu var kontrolēt 1 procenta robežās. Mērījumu precizitāte ir sasniegusi starptautisku zīmolu iekārtu mērījumu precizitāti, un tā joprojām ir ļoti augsta Ķīnā.
