Ātra pusvadītāju pārbaude, izmantojot dažādas mikroskopa novērošanas metodes
Iegremdēto vafeļu un integrēto shēmu (IC) pusvadītāju pārbaude ražošanas procesa laikā ir būtiska, lai identificētu un samazinātu defektu samazināšanu. Lai uzlabotu kvalitātes kontroles efektivitāti agrīnā ražošanas posmā un nodrošinātu integrēto ķēdes mikroshēmu ticamu veiktspēju, mikroskopa šķīdumi jāapvieno ar dažādām novērošanas metodēm, lai sniegtu pilnīgu un precīzu informāciju par dažādiem defektiem. Šeit ieviestās novērošanas metodes ietver spilgtu lauku, tumšo lauku, polarizācijas DIC, ultravioleto, slīpo apgaismojumu un infrasarkano staru. Tie ir integrēti mikroskopos, lai noteiktu un attīstītu vafeles un integrētās shēmas.
Kā pusvadītāju ražošanas nozare gūst labumu no mikroskopiem
Mikroskopa risinājumiem ir svarīga loma efektīvā un uzticamā noteikšanā, kvalitātes kontrolē (QC), kļūdu analīzē (FA), kā arī pētniecībā un attīstībā (R&D) pusvadītāju ražošanas nozarē.
Pusvadītāju ražošanas procesā dažādos posmos var rasties dažāda veida defekti, kas var ietekmēt aprīkojuma parasto darbību. Jo agrāk šie defekti tiek atklāti, jo labāk. Šos defektus var izraisīt nejauši sadalītas putekļu daļiņas uz vafeles (nejauši defekti) vai skrāpējumi, atslāņošanās un pārklājumu un fotorezistra atlikumi, ko izraisa apstrādes apstākļi (piemēram, kodināšanas laikā), un tie var rasties noteiktos vafeļu apgabalos. Sakarā ar mazo izmēru mikroskopi ir vēlamais rīks šādu defektu identificēšanai.
Īpaši salīdzinājumā ar lēnākiem un dārgākiem mikroskopiem, piemēram, elektronu mikroskopiem (EM), optiskajiem mikroskopiem (OM) ir daudz priekšrocību. Sakarā ar daudzpusību un lietošanas ērtumu, optiskos mikroskopus parasti izmanto kvalitatīviem un kvantitatīviem pētījumiem par tukšām vafelēm un iegravētām/apstrādātām vafelēm, kā arī integrēto shēmu (ICS) montāžas un iesaiņošanas procesos.
Dažādas optiskās mikroskopijas novērošanas metodes, piemēram, spilgts lauks (BF), tumšais lauks (DF), diferenciāli traucējumi (DIC), polarizācija (POL), ultravioletā (UV), slīps apgaismojums un infrasarkanā (IR) pārraidīta gaisma [1-4}], ir izšķiroša, lai ātri noteiktu un precīzu noteiktu.
